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美國Logosol晶圓預(yù)對準(zhǔn)器
Logosol的經(jīng)過時間考驗的技術(shù)和高可靠性標(biāo)準(zhǔn)是行業(yè)中廣泛的預(yù)對準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。預(yù)對準(zhǔn)器產(chǎn)品系列支持處理從45毫米到480毫米的對象,具有任何透明度水平,從不透明到透明。Logosol的一體化設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。
美國Logosol晶圓預(yù)對準(zhǔn)器
美國Logosol邊緣處理
創(chuàng)新的自主設(shè)備,采用零夾持力的被動邊緣接觸技術(shù),是Logosol邊緣夾持預(yù)對準(zhǔn)器技術(shù)的替代方案,確保在處理75毫米至300毫米對象時,晶圓不受應(yīng)力影響,保持最大的清潔度。提供標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號。
型號:LPA6EH-3,LPA8EH-3,LPA68EH-3,LPA8ET-3,LPA12ET-3,LPA812EH-3
美國Logosol獨立式
自主設(shè)備,用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準(zhǔn),包括正方形和雙層基板,具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。
型號:LPA26-3,LPA38-3,LPA58-3,LPA312-3,LPA812-3,LPA1218-3
美國Logosol嵌入式
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備,具有45毫米至480毫米對象的對準(zhǔn)能力,并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。
型號:LPA25-1E ,LPA38-1E,LPA58-1E ,LPA312-1E,LPA812-1E,LPA1218-1E
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